日期:2011-09-16 17:27:52
物理法为用40-80MPa高压水射流冲洗。化学清洗有以下几种情况。
(1)碳酸盐/氧化铁垢:不能选HNO3(HCL,H2SO4)加缓蚀剂、草酸、柠檬酸、甲酸、葡萄糖酸高温作清洗剂,一
般用CH3COOH、氨基磺酸、EDTA较安全。
(2)Si垢/铁垢:选用HNO3加HF作清洗剂,HF体积分数小于3%,HNO3:H体积比为30:1。室温下清洗,清洗时间
一般小于1h.为了安全,可用氟化物代替HF.
(3)钛在酸溶液中的缓蚀剂要有氧化性,但对铜、钢却有害,Lan-826对钛腐蚀加速[12]。所以,钛缓蚀剂一
般为多价的过渡族金属离子,而Fe3+,Cu2+,Cr6+,V5+,Fe3+会加速点蚀,Cu2+易产生铜镀现象,若用HCL、H2SO4需加少量HNO3作缓蚀剂。
总之HCL、H2SO4和热浓碱不能用作钛清洗剂,也应避免用含CL的有机溶剂;若要用HCL、H2SO4,要加一定量HNO3作缓蚀剂。清洗工艺一般为室温,酸洗5-6h,加0.1%-0.5%表面活性剂,要避免硫化物和磷酸盐